1. 产品基本信息

品牌：日本 NBK（锅屋百迪）

型号系列：SWAS-VF（标准型）、SWAS-VF-PC（化学研磨低漏气型）

产品名称：内六角圆柱头螺栓配套 通槽型真空平垫圈（Vent Groove Washer）

核心定位：真空设备、半导体、无尘室专用排气垫圈，与 NBK SVSS 系列通孔螺栓完美配套

2. 核心结构与设计原理

通槽排气结构

垫圈表面精密加工径向通气槽，安装后可快速排出螺栓孔与安装面之间的残留气体，消除气袋、缩短抽真空时间、提升真空稳定性。

双型号配置

SWAS-VF：标准 SUS304 材质，通用真空 / 洁净场景

SWAS-VF-PC：特殊化学研磨处理，表面粗糙度更低、出气量极少，适配中高真空环境

精密尺寸

公制规格覆盖 M2～M12，内径 / 外径 / 厚度精度高，贴合紧密、不晃动、受力均匀。

3. 材质与表面处理

主体材质：SUS304 不锈钢（EN 1.4301 等效），耐蚀、防锈、强度稳定

表面处理

SWAS-VF：无额外处理，洁净本色

SWAS-VF-PC：化学研磨（PC），表面超光洁、低吸附、低放气、低发尘

洁净标准：Class 100 级无尘清洗 + 真空洁净包装，开箱直用

环保认证：RoHS 合规，适配高端电子 / 半导体设备

4. 核心技术优势（差异化卖点）

真空排气高效

通槽设计彻底排出安装面气体，配合 SVSS 通孔螺栓，实现螺栓底部 + 接触面双重排气，真空抽速提升、漏气率大幅降低。

超高洁净度

无尘清洗 + 无油包装，低发尘、低析出、无杂质，不污染晶圆、腔体与精密元件。

低漏气 / 高密封性

PC 型化学研磨表面粗糙度 Ra 极低，出气量极小，适配10⁻³～10⁻⁵ Pa 中高真空。

耐蚀耐用

SUS304 材质耐酸碱、防氧化、抗疲劳，长期真空 / 湿热 / 腐蚀环境稳定不失效。

精准配套

专为 NBK SVSS/SVSS-PC 通孔螺栓设计，尺寸完美匹配、安装顺畅、反复拆装不变形。

5. 规格参数（常用型号）

6. 典型应用场景

半导体制造：光刻机、刻蚀机、PVD/CVD 腔体、离子注入机、晶圆传输设备

真空设备：真空炉、真空干燥箱、检漏仪、真空容器、镀膜机

FPD/OLED：面板检测、切割、贴合、蒸镀设备

精密仪器：电子显微镜、质谱仪、光谱仪、精密测量平台

无尘自动化：洁净机器人、无尘产线模组、医疗检测设备

7. 与普通平垫圈的核心区别