五金工具类日本NBK锅屋日本 NBK SWAS‑10-VF‑PC 通槽型真空垫圈化学研磨低漏气洁净垫片

日本 NBK SWAS‑10-VF‑PC 通槽型真空垫圈化学研磨低漏气洁净垫片

货号: SWAS‑10-VF‑PC

库存: 紧张

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简介

一、产品基本信息品牌：日本 NBK 锅屋百迪型号：SWAS‑VF‑PC名称：通槽型真空平垫圈（化学研磨低漏气型）材质：SUS304 不锈钢表面处理：特殊化学研磨 PC 处理配套使用：与 NBK SVSS‑PC 通孔螺栓为标准真空配套方案二、结构与设计特点径向通槽排气结构垫圈表面加工精密通…

分类: 五金工具类, 日本NBK锅屋,

产品详情

一、产品基本信息

品牌：日本 NBK 锅屋百迪

型号：SWAS‑VF‑PC

名称：通槽型真空平垫圈（化学研磨低漏气型）

材质：SUS304 不锈钢

表面处理：特殊化学研磨 PC 处理

配套使用：与 NBK SVSS‑PC 通孔螺栓为标准真空配套方案

二、结构与设计特点

径向通槽排气结构垫圈表面加工精密通气槽，安装后可快速排出螺栓座面与法兰面之间的残留空气，避免形成气袋，大幅缩短抽真空时间，提高腔体真空稳定性。

PC 特殊化学研磨处理表面粗糙度极低，出气量更少、吸附性更低，专为高真空环境优化，有效减少真空污染、微颗粒析出与气体释放。

精密尺寸与高刚性内径、外径、厚度精度高，受力均匀，不易变形，适合反复拆装的真空腔体、观察窗、盖板等部位。

无尘清洗 + 洁净包装出厂经过专业脱脂、清洗、洁净包装，可直接用于 Class 100 及以上无尘车间，无需二次清洁。

三、核心性能优势

高真空适配性强：通槽排气 + PC 低放气处理，漏气量远低于普通垫圈

超低发尘、低析出：不污染晶圆、光学元件、腔体内部

耐腐蚀性优异：SUS304 材质防锈、耐酸碱，适合长期真空与洁净环境使用

安装匹配度高：专为 NBK 通孔螺栓设计，配合度高，紧固更稳定

高可靠性：NBK 精密制造，长期使用不变形、不松动、不产生粉尘

四、适用行业与场景

半导体制造设备（光刻、刻蚀、成膜、离子注入、真空腔体）

真空炉、镀膜设备、检漏装置、超高真空实验装置

FPD / OLED / 液晶面板生产与检测设备

电子显微镜、质谱仪、光谱仪等高精密分析仪器

医疗设备、生物实验室、无尘室自动化设备

航天、科研装置等对真空度与洁净度要求严苛的领域

五、与普通 SWAS‑VF 的区别

SWAS‑VF：标准通槽型，适用于一般真空、洁净环境

SWAS‑VF‑PC：化学研磨升级款，表面更光洁、出气量更低、洁净度更高，

专为高真空、超高洁净场景设计

日本 NBK SWAS‑12-VF‑PC 通槽型真空垫圈化学研磨低漏气洁净垫片
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