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日本YUTAKA丰技研压力调节阀L25SH系列

日本YUTAKA丰技研压力调节阀L25SH系列

日本YUTAKA丰技研压力调节阀L25SH系列

货号: L25SH系列

库存: 紧张

品牌: 日本YUTAKA丰技研

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简介

YUTAKA技研半导体专用压力调节器（L/R/RH/L96系列），适配半导体高纯气体、特种腐蚀气体管路，满足晶圆制造、先进封装精密制程需求，主打高洁净、零泄漏、高精度、长寿命，符合RoHS无尘制程标准。二、核心特点（精简）高洁净无析出：无油润滑结构，无硅、无卤素析出，不污…

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产品详情

YUTAKA技研半导体专用压力调节器（L/R/RH/L96系列），适配半导体高纯气体、特种腐蚀气体管路，满足晶圆制造、先进封装精密制程需求，主打高洁净、零泄漏、高精度、长寿命，符合RoHS无尘制程标准。

二、核心特点（精简）

高洁净无析出：无油润滑结构，无硅、无卤素析出，不污染晶圆与镀膜层，适配无尘车间、真空腔体工况。
超低微泄漏：精密密封+金属焊接接头，氦泄漏率达10⁻¹²级别，杜绝压力衰减、工艺偏移与安全隐患。
高精度稳压：双级稳压结构，抑制流量、启停压力波动，支持正负压线性调节，制程压力稳定性极强。
耐腐耐用：钝化处理阀体+耐腐蚀密封件，适配各类特种工艺气体，抗老化、无参数漂移。
易集成适配：模块化轻量化设计，多安装方式，兼容进口主流半导体设备，替换改造便捷。
长效稳定免维护：精工高抗疲劳结构，长期24h连续运行性能无衰减，减少停机维保，提升产线稼动率。

日本YUTAKA丰技研压力调节阀L25SH-CL2系列
¥0.00

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日本YUTAKA丰技研压力调节阀L25SS系列
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