概述
纳米运动的标准阶段为半导体、生物医学和测量仪器市场的广泛应用提供了单轴和多轴运动性能。
标准级由HR电机(纳米运动超声电机)驱动,采用闭环伺服运动和光学编码器。 模块化安装便于使用标准角架安装。
所有轴都采用配备高刚性和光学编码器的精密横滚子轴承,以实现精确定位。
标准阶段分为如下分类。
·FB线性级
·FR旋转级
·FG前角级·
FZ楔形级
。这些级兼容标准大气压模型、ISO 3类洁净室兼容型号, 我们提供吸尘器型号。
此外,不适合标准舞台配置的应用也可以通过此类支持进行定制。 欢迎随时与我们咨询。
FB线性舞台
〇 FB 线性级(FB)
FB 系列产品线是一系列标准模块化线性级,适用于单轴和多轴应用。 该级段配置采用了横滚子轴承、线性光学编码器和Nanomotion的超声电机。 这些级有多种行程长度,可以组合成X/Y、X/Y/Z或其他多轴配置。 编码器的分辨率可以调整以符合各种性能标准。 为满足所需的功率/加速度要求,每个截面均配备不同尺寸的电机。
例如,FBS100100的机械特性和性能规格如下。
〇 机械性质示例
| 模型 | FBS100100 |
|---|
| 舞台板材料 | 铝 - 黑色阳极氧化 |
|---|
| 发动机 | HR8 电机 |
|---|
| 轴承类型 | 具备滚子运动和防滑功能的精密交叉滚子轴承 |
|---|
| 编码器 | 金带尺度光学线性编码器 |
|---|
| 电缆长度 | 3米 |
|---|
| MTBF(平均故障时间) | 30,000小时 |
|---|
| 舞台质量 | 1811g |
|---|
| 可移动质量 | 710g |
|---|
| RoHS | 合适 |
|---|
| 真空兼容选项 | 高真空(HV)最高可达 1.4×10-5Pa(10-7托) 超高真空(UHV)最高可达1.4×10-8Pa(10-10 Torr) |
|---|
〇 性能规格
| 移动范围(毫米) | 100毫米 |
|---|
| 编码器分辨率 | 标准100纳米 可选10纳米
|
|---|
| 双向重复性 | 标准1微米 选项:100纳米 |
|---|
绝对精度 (可用误差映射) | 标准10微米 选项7微米 |
|---|
每种模式 的最小送给速率(取决于编码器和控制) | 交流模式:100nm UHR模式,5nm直 流模式<1nm |
|---|
| 最高速度 | 最大速度:250毫米/秒 |
|---|
| 直线性与平面性 | ±4微米 |
|---|
| 沥青与紫杉 | ±50微辐射 |
|---|
| 允许负载 - 水平 | 2.7公斤 |
|---|
| 允许载荷——垂直载荷 | 0.4公斤 |
|---|
| 运动的拖延力量 | 32N |
|---|
| 刚性 | 3N / μm |
|---|
此外,您还可以购买下表所示的组合 FB Linear Stage。
