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日本MEIRITZ明立精机单元式空气弹簧隔振装置AP 系列AP-80

货号: AP-80

库存: 紧张

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可低成本搭建适配各类精密仪器特性的最优隔振系统。对于隔振装置，除基础性能外，灵活适配性愈发受到重视。如今越来越多场景需要将适配精密仪器特性的专用隔振机构直接集成至设备内部，AP 系列正是一款可快速匹配此类需求的隔振系统。该系列功能充裕、拓展性优异，能够打…

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产品详情

可低成本搭建适配各类精密仪器特性的最优隔振系统。

对于隔振装置，除基础性能外，灵活适配性愈发受到重视。如今越来越多场景需要将适配精密仪器特性的专用隔振机构直接集成至设备内部，AP 系列正是一款可快速匹配此类需求的隔振系统。

该系列功能充裕、拓展性优异，能够打造理想的低振动作业环境。

特点

技术与实绩兼备的明立空气弹簧隔振系统

本空气弹簧隔振系统拥有覆盖电子显微镜、激光应用设备、半导体制造与检测设备等众多领域的大量应用实绩，可在数赫兹至数百赫兹的宽频域内稳定发挥优异隔振性能。即便供气中断，空气弹簧底部的防振橡胶也能保护搭载设备的精密机械结构。

通用型集成单元结构

嵌入设备内部时，隔振系统往往要求占用空间更小。AP 系列为集成单元式结构，将空气弹簧与高精度水平维持传感器紧凑整合，无需对主机设备大幅变更结构即可完成装配，并获得出色隔振效果。

适用设备：

半导体制造 / 检测设备、液晶制造 / 检测设备、电子显微镜、激光显微镜、激光加工设备、轮廓测量设备、精密加工机床及其他精密仪器

浮起状态整机高度统一为 185mm

本系列所有隔振单元浮起后的整机高度统一为 185mm。即便因设计变更增减搭载设备重量，也无需改动整机高度即可适配。

覆盖宽泛的承载重量范围

需要隔振的精密仪器种类与使用场景逐年多样化。AP 系列推出 AP-80 至 AP-380 共 11 款型号，可适配数百公斤至超 10 吨的大型精密设备。

可对应无尘车间使用需求

如需在高等级无尘车间内使用，可更换为支持集中排气的无尘车间专用水平维持传感器（如需更换配件请另行咨询；两段式传感器无法更换）。

型式	AP-80	AP-100	AP-120	AP-140	AP-160	AP-180
固有振動数	垂直・水平:2.5～3.0Hz
除振方式	空気ばね
制振方式	オリフィスによるエアーダンピング
レベル維持方式	自動レベル維持機構（復帰精度±200μm）
機体寸法 W×D×H(mm)	170×170 ×185	180×180 ×185	200×200 ×185	210×210 ×185	240×240 ×185	250×250 ×185
機体質量(kg) [空気ばね1個]	10.5	14	15	19	21	27.5
搭載可能質量(kg) [空気ばね 4個使用時]	560	880	1200	1700	2200	2800
供給圧力	0.40～0.70MPa（空気源：コンプレッサ・工場エアー・窒素ボンベ）

型式	AP-200	AP-230	AP-270	AP-330	AP-380
固有振動数	垂直・水平:2.5～3.0Hz
除振方式	空気ばね
制振方式	オリフィスによるエアーダンピング
レベル維持方式	自動レベル維持機構（復帰精度±200μm）
機体寸法 W×D×H(mm)	260×260 ×185	300×300 ×185	320×320 ×185	370×370 ×185	430×430 ×185
機体質量(kg) [空気ばね1個]	32	43.5	52	67.5	90
搭載可能質量(kg) [空気ばね 4個使用時]	3600	4600	6400	9600	13000
供給圧力	0.40～0.70MPa（空気源：コンプレッサ・工場エアー・窒素ボンベ）