电商MRO供应链日本PURERON过滤器SIF-CB13M应用案例   

详细参数表（全维度）

二、优势（5 大亮点）

1. 超微精度过滤，适配高端制造

• 0.0015μm 过滤精度，远超行业标准，可去除半导体制造中致命的超微颗粒，防止晶圆缺陷

• SUS316L 不锈钢滤芯，无有机物释放，避免污染高纯气体（如 SiH₄、NH₃、HF 等）

• 金属密封设计，泄漏率 < 1×10⁻⁹atm・cm³/s，确保气体纯度不受影响

2. 全金属结构，极致耐用

• 滤芯与主体均为 SUS316L 不锈钢，耐腐蚀、耐高温（200℃）、耐高压（17MPa），使用寿命是传统塑料滤芯的 10 倍以上

• 多层烧结结构，不易堵塞，容尘量是普通过滤器的 3 倍，减少更换频率

• 可在线烘烤再生，去除水分和氧杂质，保持长期稳定过滤性能

3. 低压降设计，节能高效

• 优化的流道设计，压力损失≤0.02MPa@40SLM，减少气体输送系统的能源消耗

• 40SLM 大流量设计，适配大型气体面板，满足高产能生产线需求

• 与 MFC（质量流量控制器）完美匹配，保护 MFC 不受颗粒污染，延长其使用寿命

4. 集成式设计，安装便捷

• 1.125" 标准接口，适配主流集成式气体系统（IGS），无需额外适配器

• 轻量化设计（约 1.2kg），便于在空间受限的气体柜内安装

• 可与其他 PURERON 过滤器组合使用，构建多级过滤系统，进一步提升气体纯度

5. 合规性强，品质保障

• 符合 RoHS、REACH 等环保标准，适配绿色工厂要求

• 通过 SEMI F20、ISO 14698 等行业标准认证，确保产品质量稳定

• 50 年以上市场验证，全球半导体行业装机量领先，售后服务网络完善

三、典型应用案例（4 大场景，含工况、方案、效果）

1. 半导体晶圆制造（12 英寸晶圆厂）

• 在气体面板的 MFC 前安装 SIEX-CB13M 过滤器，形成 "粗滤 + 精滤" 二级过滤系统

• 针对不同工艺气体（如腐蚀性气体、惰性气体）分别配置过滤器

• 定期（每 6 个月）更换滤芯，配合在线颗粒监测系统，确保过滤效果

  实施效果：

• 晶圆良率提升3.5%，减少因颗粒缺陷导致的报废

• MFC 使用寿命延长2 倍，降低设备维护成本

• 适配台积电、三星等顶级晶圆厂标准，满足 7nm/5nm 先进工艺要求

2. 光伏太阳能电池片生产（PERC/TOPCon 工艺）

• 在 PECVD 设备的气体入口处安装 SIEX-CB13M 过滤器

• 配合 PURERON 的 PGF 系列陶瓷过滤器，构建多级过滤系统

• 定期烘烤过滤器（150℃，2 小时），去除水分和氧杂质  
  
  

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