日本MEIRITZ明立精机气压控制式主动隔振装置MRZ α（阿尔法）系列MRZa-520

货号: MRZa-520

库存: 紧张

品牌: 日本MEIRITZ明立精机

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实现了面向 FPD 制造设备等大型装置的主动隔振装置低成本化。全新研发推出 MRZ α 系列产品，该系列承袭拥有大量供货实绩的 MAPS/MRZ 系列优异隔振性能，同时实现了成本性能比的提升。特点主要用途平板显示（FPD）、半导体制造设备、电子显微镜、真空相关装置、测量仪器、…

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产品详情

实现了面向 FPD 制造设备等大型装置的主动隔振装置低成本化。

全新研发推出 MRZ α 系列产品，该系列承袭拥有大量供货实绩的 MAPS/MRZ 系列优异隔振性能，同时实现了成本性能比的提升。

特点

主要用途

平板显示（FPD）、半导体制造设备、电子显微镜、真空相关装置、测量仪器、超精密加工机床等。

六自由度主动控制

单元内置垂直、水平双向气压执行器，可消除被动隔振难以应对的全频域振动。

主动模式下执行反馈 + 地面前馈复合控制

FB：反馈控制系统

FloorFF：地面振动前馈控制系统

StageFF：平台前馈控制系统（可选配置）

轻量化小型化、低功耗、低成本

实现单元轻量化、紧凑化，同时降低功耗、控制采购成本。

已取得专利

专利第 5457821 号

型式/types	MRZ-120	MRZ-200	MRZα-330	MRZα-520
搭載可能質量 [kg] (4ユニット使用時)	500～1,500	1,500～4,400	4,000～12,800	10,000～32,000
機体寸法 W×D×H [mm]	240x240x191	324x252x191	504x404x191	694x594x191
ユニット質量[kg/個]	25	34	60	110
供給空気圧[MPa]	0.6～0.8(Clean dry air)
定常空気消費量 [l/min]	45～65		120～170
最大空気消費量 [l/min]	120		300
電源電圧[V]	100～240 (AC単相, 50/60Hz)
最大消費電力[VA]	120
周囲温度[℃]	0～40
周囲湿度[%RH]	35～85
除振・制振方式	空気圧制御による振動制御
位置決め精度[mm]	±0.001～0.050※
コントローラ寸法 W×D×H [mm]	435x300x118
コントローラ質量[kg]	7.5