日本MEIRITZ明立精机台式主动隔振系统ME 系列ME-0405

货号: ME-0405

库存: 紧张

品牌: 日本MEIRITZ明立精机

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这是一款搭载六自由度主动控制的台式隔振系统。设备实时监测承载平台的振动，通过内置执行器施加反向相位作用力实现振动抑制，可完成三维（六自由度）全维度振动控制。特点六自由度主动控制实时监测承载平台振动，通过内置执行器施加反向相位力实现振动抑制，可完成三维（…

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产品详情

这是一款搭载六自由度主动控制的台式隔振系统。

设备实时监测承载平台的振动，通过内置执行器施加反向相位作用力实现振动抑制，可完成三维（六自由度）全维度振动控制。

特点

六自由度主动控制

实时监测承载平台振动，通过内置执行器施加反向相位力实现振动抑制，可完成三维（六自由度）全维度控制。

主动自动调节 + 自动调平

主动控制所需的增益调节，依托明立精机自研控制系统自动完成最优匹配。

隔振性能不受承载设备重量影响

经过设备结构优化，即便搭载小型扫描探针显微镜（SPM）这类轻型设备，也不会降低隔振效果，可稳定使用。

型式	ME-0405	ME-0506
システム形状	卓上型
アクティブ制御範囲	0.5Hz～100Hz（100Hz以上はパッシブ制御）
自動機構	アクティブ制御調整、レベリング調整
ステータス	前面LCDコントロールパネルに表示
搭載可能質量(kg)※1	80	80
搭載面寸法(mm)	430×530	530×630
機体寸法(mm)※2	432×532×93	532×632×93
機体質量(kg)	31	42
ユーティリティ	電源（100V-240V、AC単相、50/60Hz）
標準付属品	取扱説明書、電源コード(3m)
オプション	搭載盤スチールハニカム光学定盤専用防音ボックス専用架台